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無(wú)塵車間潔凈室（區(qū)）與周圍的空間必須維持在一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。1、不同等級(jí)的無(wú)塵車間潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。2、無(wú)塵車間潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定3、送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖，正壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)，關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反，負(fù)壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反4、非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。
光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，無(wú)菌室公司，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
車間凈化主要是將一定空間范圍內(nèi)的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、壓差、氣流速度、噪音、照明、等控制在一定范圍內(nèi)，用以保證產(chǎn)品可以在穩(wěn)定良好的環(huán)境下生產(chǎn)。當(dāng)然是否需要做凈化主要取決于工廠生產(chǎn)的產(chǎn)品的類型，工藝要求。根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，凈化車間可為若干等級(jí)。一般來(lái)說(shuō)，數(shù)值越小，代表凈化級(jí)別越高。即百級(jí)>千級(jí)>萬(wàn)級(jí)>十萬(wàn)級(jí)>三十萬(wàn)級(jí)。不論是哪個(gè)級(jí)別的凈化一般要經(jīng)過(guò)初效過(guò)濾、中效過(guò)濾、高效過(guò)濾三個(gè)過(guò)濾段。凈化過(guò)程從氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 ，重復(fù)這樣的一系列過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
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